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Journal officiel du 27/12/2009
microsystème électromécanique
Forme abrégée : microsystème, n.m.
Synonyme : mems, n.m. langage professionnel
Domaine : ÉLECTRONIQUE
Définition : Système intégrant sur une puce des dispositifs mécaniques et électroniques, qui remplit une fonction déterminée.
Voir aussi : micro-usinage, micropoutre, microsystème optoélectromécanique
Équivalent étranger : micro-electromechanical system, MEMS (en)